Схема установки по выращиванию кристаллов методом Чохральского

Рис.11. Печной агрегат (вид сбоку) установки для синтеза и выращивания монокристаллов разлагающихся полупроводниковых соединений под высоким давлением инертного газа: 1 - измерительная головка; 2 - привод подъема и вращения штока с затравкодержателем; 3 - рама установки; 5,9 - разъемные скобы, соединяющие корпус камеры высокого давления 6 с верхней 4 и нижней 10 её крышками; 7 - смотровое окно; 8 - тепловой узел; 11 - кожух привода подъема и вращения штока тигля

Выводы

Мы разработали технологический процесс выращивания монокристаллического фосфида галлия марки ФГДЦЧ-5-17. Создание монокристалла состоит из двух этапов.

Первый этап, это синтез раствора GaP в квазигерметичном реакторе при температуре 1750°К. Реактор имеет длину 30см и поперечный диаметр 10-15 см. В реактор загружаются 3460 гр. галлия и 1678,54гр. красного фосфора. В результате синтеза получается 4997 гр. раствора фосфида галлия.

Второй этап, проходит в установке выращивания кристаллов по методу Чохральского. Тигель с раствором имеет высоту 12 см и диаметр 12 см. Скорость вытягивания кристалла составляет 1 мм/мин, скорость вращения кристалла 90 об/мин., а скорость вращения тигля 10 об/мин. Выход годного материала с концентрацией дырок 5*1017 см-3 при заданных условиях составил 0,811. Степень компенсации вдоль длинны кристалла меняется от 20% до 30% (значение при 81,1% закристаллизовавшегося слитка). Для получения необходимой концентрации носителей заряда в раствор добавляется лигатура с концентрацией примеси 1020 см-3. Масса лигатуры с учетом остаточных примесей в растворе: цинка - 56,37 гр., теллура - 45,93 гр.

Похожые стьтьи по экономике

Расчет электромагнитных характеристик структурированной кабельной сети
В стандарте ISO/IEC 11801:2002(E) электрические каналы и линии разбиты на шесть классов: A, B, C, D, E и F. Каналы и линии указанных классов обеспечивают гарантированную поддержку аппар ...

Радужная голография
В оптической голографии убедительным образом проявляются волновые свойства света. Этот метод базируется на двух фундаментальных явлениях физической оптики - интерференции и ...

Широкополосный генератор радиошума
Не секрет, что технический прогресс неуклонно идет вперед. В настоящее время стало все сложнее обеспечивать конфиденциальность разговоров. На рынке появились различные устройства подслуш ...

Разделы

© 2019 - www.frontinformatics.ru